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低壓手動鎖定型隔膜閥

簡要描述:

低壓手動鎖定型隔膜閥特點
?一路進二路出的氣流方向
?充分利用空間
?zui小死區
?釋放出氣
?確保產生的微粒為zui小化
?zui小的濕氣、氧氣和氫氣分流
?激光打印標記;材質經過獨立機構測試認證
?在潔凈室中進行電解拋光,D.I.水處理,裝配,測試和包裝

 

BDV 低壓手動鎖定型隔膜閥

低壓手動鎖定型隔膜閥

STD

特點

一路進二路出的氣流方向

充分利用空間

zui小死區

釋放出氣

確保產生的微粒為zui小化

zui小的濕氣、氧氣和氫氣分流

激光打印標記;材質經過獨立機構測試認證

在潔凈室中進行電解拋光,D.I.水處理,裝配,測試和包裝。

技術指標

低壓手動鎖定型隔膜閥

尺        寸

1/4"

3/8",1/2"

CV       

0.3

0.7

孔        徑

4.5mm

7.8mm

zui大工作壓力(G.)

17kgf/cm2(1.66MPa)

zui大工作溫度

PCTFE:-10℃-65℃/PFA:-10℃-120℃/PI:-10℃-150℃

內泄漏標準(He)           

測試壓力≤1×10-2 Torr       

測試時間≥30秒     

≤1×10-9 atm·cc/sec(1×10-10Pa·m3/s)

外泄漏標準(He)           

測試壓力≤1×10-2 Torr       

測試時間≥1分鐘

≤1×10-9 atm·cc/sec(1×10-10Pa·m3/s)

微粒檢測(只用于EP)         

壓力:60-80PSI N2氣體           

樣品流量:1CFM 0.1μm以上

無法計算

 

 

選    型

S

4

BDV

VM

IT25

P 

S-4-BDV-VMIT25-C-P

閥體材質

S 

 

S:SUS316單級;

D:SUS316雙級;

尺    寸

 

4 

 

4:1/4″;

6:3/8″;

8:1/2″;

產    品

 

BDV

 

BDV;

連    接

 

VM

 

VM:公VCR;

VF:母VCR;

SW:卡套;

TW:對焊

氣流方向

見下圖

一路進二路出

IT25

 

1T25; 5T12; 1T23; 3T12

級    別

 

P 

AP:AP級;

空白:BA級;

P:EP級

其他材質

底座:PCTFE/PI/PFA; 隔膜:哈氏合金; 手柄:鋁

 

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